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  • 干泵的工作原理与应用

    干泵的工作原理与应用:原理,应用,工作无油干泵是指泵能从大气压力下开端抽气,又能将被抽气体间接排到大气中去,泵腔内无油或其余事情介质,并且泵的极限压力与油封式真空泵等同量级大概濒临的机器真空泵。今朝,真空行业应用的大大都机器真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充任泵的事情介质,在泵内起冷却、密封、光滑等多种感化。跟着迷信技巧的成长以及真空利用范畴的扩展,原本的机器真空泵及其构成的抽气体系呈现了两个急需处理题目:一是泵的事情介质返流传染被抽容器,而这类返流在很多情形下会影响产物的品质、数目,增添装备的保护本钱。其次,因为某些工艺进程中的反映物资使真空泵内的介质重大变质,使泵不克不及畸形事情。 对一般的无油真空体系来讲,固然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附(物质表面吸住周围介质中的分子或离子现象)阱之类附件来避免返流,但不克不及完全处理题目,并且使体系显得庞杂。而应用恰当型式的干式机器真空泵,则能够到达幻想的应用后果。 干泵的利用是普遍的,重要有以下几个方面:1)高压化学气相堆积中的多晶硅制备工艺中;2)半导体刻蚀工艺。在这些出产工艺中常常用到或天生腐化性气体和研磨微粒;3)除半导体工艺外的某些发生微粒的工艺。在这些工艺中,不盼望微粒混入泵油中,而盼望微粒排出泵外,用必定型式的干式机器真空泵能够满意请求;4)化学产业、医药产业、食物产业中的蒸馏、枯燥、脱泡、包装等粉尘爆炸与袋式除尘器设计
    ,避免有机溶剂形成传染,合适用干式真空泵;5)用做个别无油干净真空体系的前级泵,以避免油传染。 最近几年来,干泵获得敏捷的成长,外洋多家大真空公司都研制出了新型的干泵。海内的很多单元也始终在停止干泵的开辟研制事情,如东北大学、沈阳真空技巧研讨所、上海真空泵厂等废气净化设备。今朝,干泵重要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、来去活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,实用于小容量高紧缩比(单级紧缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,实用大容量,高压缩比(指单级紧缩比)。分歧类型的干式泵存在各自的特色。应用时可依据分歧的用处加以抉择。
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